Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники
Григорьев Ф.И.
Москва, Московский государственный институт электроники и математики, 2008. - 36 с. В пособии изложены основные физико-химические процессы протекающие в полимерах при имплантации ионов и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации. Рассмотрены ионно-лучевая литография и плазмохимическое травление полимеров. Кратко рассмотрены перспективы создания новых электронных устройств и элементов интегральной оптики на основе ионно-имплантированных полимеров.
Litres
¿Quieres añadir una librería? Contáctanos a través de support@z-lib.do
Convierte archivos
Más resultados de búsqueda
Otros beneficios 
